应用于LED产业的特种气体
半导体工业用工业气体品种多、质量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蚀性气体。品种高达百余种。半导体工业特种气体应用分类，主要包括：
1. 硅族气体：含硅基的硅烷类，如硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷等
2. 掺杂气体：含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷等。
3. 蚀刻清洗气体：以含卤化物及卤碳化合物为主，如氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷等。
4. 反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳、氨、氧化亚氮等。
5. 金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨、三甲基镓等。
在LED产业链中，外延技术、设备和材料是外延片制造技术的关键。当前MOCVD工艺已成为制造绝大多数光电子材料的基本技术。外延技术需要的超纯特种气体包括高纯砷烷、高纯磷烷、高纯氨气，砷化镓生产中应用硅烷N型掺杂，而氯化氢和氯气常常用做蚀刻气，氩、氢、氮则是必须的载气。
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